光刻机龙头ASML默默支持,福建晋华低调运转不停工

浏览次数: 作者: 来源:DeepTech深科技 日期:2019-01-26

国内 DRAM 技术阵营福建晋华在被美方列入出口管制清单当日,所有美系设备商全数撤出,之后甚至传出整个工厂陷入停摆,然事实上,福建晋华仍是低调持续运转,且最大光刻机龙头 ASML 默默支持并未撤出,目前由福建晋华总经理陈正坤坐镇,采“龟息大法”维持工厂正常运作。

(来源:ASML)

2018 年 10 月 29 日美国一纸禁令宣布晋华被列为出口管制清单中,隔天 30 日,美系设备、材料等供应商全面撤出,包括机台安装、协助生产等动作也立刻停止,之后传出连非美系的供应商也撤出,整个 12 寸厂房呈现停摆状态。

事实上,目前福建晋华的 12 寸厂房仍是低调运转中,且光刻机大厂 ASML 并未如外传撤出,仍是默默支持,ASML 对 DT 君表示,会在符合各种法规要求的前提下,正常支持客户。

很显然地,虽然遭遇巨大冲击和压力,晋华也走到此一险境,但并没有放弃 DRAM 技术计划,现阶段的晋华员工仍是抱着没有退路的信念继续做下去,战到最后一刻。

受到晋华事件冲击,国内另一个 DRAM 技术阵营合肥长鑫的动态则是更为低调。

业界透露,合肥长鑫的 DRAM 芯片已经研发出来,良率也不错,但碍于眼前的“晋华风暴”,可能会延后量产。

再者,由于之前不少美光前员工加入合肥长鑫的团队,为了规避目前锋头正盛的 DRAM 专利侵权疑虑,长鑫也雇用不少来自前三星电子(Samsung Electronics)、 SK 海力士(SK Hynix)的韩国研发团队,竭尽所能地淡化美系色彩。


(来源:SK海力士)

不过,传出之前“晋华案”爆发后,这些韩籍员工返回韩国后,有被当地政府“关切”,显示国内自制存储“芯”的风潮,仍是处于国际间的严密注视中。

眼前的福建晋华几乎是采用“龟息大法”在维持生命状态,让工厂的运作继续撑下去,但来自三面的压力仍是持续。一方面是来自美国司法部的起诉已在美国旧金山联邦法院开庭,晋华、联电提出无罪抗辩,争取从美国商务部出口管制清单中移除。

面对美国司法部的起诉,晋华和联电在美国分别寻找适合的律师协助处理该案,然而,晋华也遇到不少阻碍,主要是因为美国多家著名的律师事务所都与美系存储大厂美光(Micron)签约,而美光正是“晋华案”的幕后主要推手。

后来,晋华找到的律师为曾担任联邦检察官的 Christine Y. Wong,联电则是找来之前在美国欧巴马时代,担任联邦司法部助理总检察长的 Leslie R. Caldwell,作为辩护律师。

晋华遇到第二层面的压力,则是技术合作伙伴联电的终止 DRAM 技术开发计划

根据原本规划,联电接受晋华委托的 DRAM 技术开发计画是在联电南科厂进行研发,待研发成功后,该组百人的 DRAM 研发团队将从联电转移至晋华,只是这组人还没转过去,美国的出口禁令就已经先一步出手拦截,现在这一组百人团队在联电已经内转到其他部门。

除了上述的美国司法大刀、合作伙伴退出 DRAM 技术开发计画外,晋华遇到的第三层阻碍是来自美系供应商的撤出

2018 年 10 月底美国出口管制禁令一出,所有美系供应商包括 Applied Materials 、 KLA Corporation 、 Lam Research 、 Gatan 、 ECI Technology 、 Broker 、 Engegris 等全数撤出晋华,不过,部分非美系供应商并没有撤出,且晋华的晶圆厂仍是维持正常运作。

由于福建晋华先前已经采购可生产几千片的半导体机台设备,用以支应今年初进入小量投产,现在这些设备虽没有美系设备商人员协助生产,但晋华仍是想办法让机台正常运作,在耗材原物料方面,则是找韩系、日系的供应商代替美系的料源。

再者,合肥长鑫的 DRAM 技术开发计划是基于北京兆易创新、合肥市产业投资控股签署的《关于存储器研发项目之合作协议》,进行 19nm 工艺研发,总预算约为 180 亿元人民币,双方筹资比例为 1 :4,目标是在 2018 年 12 月 31 日前实现产品良率 (测试电性良好的晶片占整个晶圆的比例) 不低于 10% 目标。

兆易创新也于 2018 年 12 月 28 日公告,经沟通确认,双方约定合作的 DRAM 研发项目将继续推进实施。

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